EE论坛:硅基MEMS工艺在毫米波天线中的应用
发布于:2017-11-20 10:38:43   |   作者:[学院] 电工学院   |   浏览次数:356

讲座时间:2017112314:30

讲座地点:科C108

讲座题目:硅基MEMS工艺在毫米波天线中的应用

主讲人:张志军 清华大学教授、杰青、IEEE Fellow

 

报告简介:硅材料由于其相对介电常数高(er = 11.9),通常被认为是一种不太适合于天线设计的材料。当直接利用硅作为天线基板时,天线的带宽窄、辐射效率差。另一方面,硅基MEMS工艺已经成熟,被广泛应用于姿态传感器、声学检测等领域。硅基MEMS工艺可以在硅片上进行深度刻蚀,生成复杂的空腔结构。报告将介绍清华研究小组在利用硅基MEMS工艺设计毫米波天线中的一系列工作。具体内容包括60GHz低副瓣天线阵列,固定波束指向的60GHz行波天线,以及其它一些60GHz和300GHz天线阵列等。

 

主讲人简介:张志军 清华大学教授、杰青、IEEE Fellow。于1992、1995获电子科技大学本科、硕士学位,1999年获清华大学博士学位。同年赴美从事博士后研究,后进入工业界工作,先后在Amphenol、Nokia、Apple公司的美国部门任职。2007年起任清华大学全职教授。已发表SCI论文100余篇,其中IEEE Trans.论文50篇。出版英文专著一本:Antenna Design for Mobile Devices。