基于表面等离子体的超分辨光刻理论与实验研究

梁高峰 博士生

内容简介：光学衍射极限使得传统光刻系统对物体结构观测限制在半波长以上量级。而光波在亚波长结构中的新奇效应，使得以金属-介质薄膜结构为代表的新型表面等离子体人工结构材料成为突破衍射极限的新选择。将表面等离子体技术与光刻技术结合能够有效提高光刻分辨力,获得亚波长尺度的超衍射光刻图形。本研究课题针对表面等离子体在超分辨光刻中的物理机制、成像特性和规律进行研究, 从图形分辨力、对比度、光强度、以及均匀性等影响光刻图形质量的关键参数入手，重点阐述一对一成像光刻、干涉光刻中的材料设计、模拟分析、以及实验验证过程。研究表明利用金属-介质多层膜超材料可明显改善光刻图形质量；而利用具有频率选择功能的薄膜结构可以获得大面积深亚波长尺度的均匀干涉光刻图形；最后分析了薄膜粗糙度对光刻系统性能的影响。

报告人简介：梁高峰，博士研究生，主要从事光学超材料、光刻技术方面的研究。博士生导师：赵青教授。

报 告 时 间：  2017年03月11日  15：00                  

报 告 地 点：  物电楼204

主  持   人：  赵青  教授