“万能离子刀”纳米构筑与异质集成

欧欣 研究员

内容简介

电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，通过有效控制离子束产生的空体积缺陷并实现“Defect induce Effect”，在材料研究中表面纳米图形化、核材料辐照行为、功能氧化物器件调控等的很多领域可以产生重要的应用。如基于气体离子注入的离子束缺陷工程可以形象的比喻为一把“万能离子刀”。本报告介绍基于低能（＜2keV）“万能离子刀”材料表面“雕刻”和中能量（＜1MeV）“万能离子刀”纳米尺度材料“切割”在新型SOI材料以及异质集成衬底方面的研究进展。“万能离子刀”为实现高 质量单晶薄膜的制备及集成提供了简单、高效的手段。

主讲人简介

欧欣，中国科学院上海微系统与信息技术研究所，信息功能材料国家重点实验室 研究员，博士生导师，2009年博士毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所。2010年至2014年在德国亥姆霍兹德累斯顿-罗森多夫研究中心（HZDR）从事研究工作。2014年底，通过中科院“百人计划”引进加入中科院上海微系统与信息技术研究所工作。2015年入选上海市“浦江人才” 并通过中科院“百人计划”择优支持。2016年获得国家基金委优秀青年科学基金。

在《Physical Review Letters》、《Nano Letters》、《Advanced Materials》等期刊上已发表40余篇SCI论文。2016年获得国际离子束与材料研究领域著名的IBMM奖（全球第五位）、担任电子科大-中国电科“核心电子材料与器件协同创新中心”学术委员会委员。

时间：2017年5月3日（周三）10:00

地点：沙河校区逸夫楼523会议室