空间频谱滤波在等离子体光刻中抑制膜层粗糙度影响分析

梁高峰 博士生

内容简介：光学衍射极限使得传统光刻系统对物体结构观测限制在半波长以上量级。而光波在亚波长结构中的新奇效应，使得以金属-介质薄膜结构为代表的新型表面等离子体人工结构材料成为突破衍射极限的新选择。将表面等离子体技术与光刻技术结合能够实现深亚波长尺度的超衍射光刻，有效提高光刻分辨力。本研究从超透镜和双曲色散超材料两种光刻结构中的膜层表面粗糙度对光刻图形质量影响入手，比较分析了两种结构中倏逝波传输特点。指出超透镜结构可以实现任意图形成像，但光刻图形容易受膜层和掩模缺陷影响。而基于空间频谱选择的双曲色散超材料结构对膜层和掩模缺陷不敏感，能够获得均匀的周期性图形。分析结论在光波导结构中进一步得到证实。总结指出空间频谱滤波是获得均匀深亚波长光刻图形的有效方法。

报告人简介：梁高峰，博士研究生，主要从事基于表面等离子体的超分辨光刻方法研究。博士生导师：赵青教授。

报 告 时 间：  2016年10月21日  14：30                  

报 告 地 点：  物电楼204

主  持   人：  赵青  教授